雙層滑動式CVD管式電爐
洛陽炬星窯爐自主研發新一代雙層滑動式CVD管式電爐,專為石墨烯等高端材料研發定制。
適用于高校、企業研發場景。
系統采用模塊化雙層設計,集成化三溫區獨立控溫,最高溫度達1100℃,精準穩定。
配備西門子S7-200 PLC智能控制系統,觸摸屏操作,實時監控溫度與真空度。
高純度D130mm石英管腔、滑動式結構配合滑軌與坦克鏈,推進平穩、定位精準,可高效完成石墨烯等材料的沉積工藝。
整體設計結構緊湊,雙工位并行實驗,大幅提升科研效率。
炬星CVD技術——用精密工藝,推動科研未來。